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洁净空调系统的自控的项目(1)


洁净空调系统的自控项目有:温度、湿度、洁净度、正压值、易燃易爆、有毒有害气体的浓度检测、节能。以下主要讲解温度和湿度:

温度

应根据工艺的需要提出无尘室内的温度基数和精度,如电子工厂无尘室的室内温度基数一般在22~24℃,比舒适性空调要低得多,而且精度要求又很高,一般在±0.5~±0.1.另外工艺设备的发热量又比较大,生产工艺多变,造成设备发热量变化也很大,也就是说,影响室内温度的扰量很大。洁净空调系统的特点是送风量是根据洁净度的要求确定的,一般情况下,送风量是不变的,因此洁净空调系统设计是采用定风量变送风状态点的控制形式。洁净空调系统的另一个特点是由于送风量比较大,所以无尘室内的温度梯度差就比较小,一般温度传感器可设置在回风口或回风总管内。若无尘室内温度精度要求高,采用电加热器进行微调也是常用的方法。

湿度

无尘室内的湿度也是根据生产工艺的要求而确定的,如电子工厂无尘室一般要求室内的湿度基数为40%,但又不能太低,如果湿度太低容易产生静电。另一个特点是工艺设备发湿量很小,主要发湿量是人员发湿量,无尘室内人员不会太多,所以热湿比多大雨5000,热湿比线几乎是垂直的。发湿量的最大扰量就是新风。室外空气的含湿量变化还是比较大的,若在新风进入洁净空调系统之前就将其湿度控制住,那无尘室内的湿度控制相对来说就比较容易了。所以新风的空气处理状态药定在热湿比线和90%的相对湿度线的交点上,还有一部分的余湿就要由处理循环空气的表冷器来承担。这就要求循环空气表冷器的进水温度要低于循环空气的露点温度。这样循环空气表冷器的进水温度就很低了,有时候就不能满足去湿要求,所以在新风处理前装去湿装置室常用的方法。

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