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净化工程温度和湿度的控制范围


净化工程温度和湿度的控制范围

   净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

  湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。

洁净室中的气压规定:
  对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
 1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
 3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
  压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

   东莞市弘迪净化机电工程公司成立2003年,是一家专业从事100级-30万级无尘车间设计、施工、调试、检测、维护、净化设备生产、销售、净化空调及工业地板等一条龙服务的专业净化公司。

   主要服务于电子、微电子、光学、光纤光缆、精密机械、精密仪器、生物医药,精细化工、食品饮料,GMP厂房、EDS车间、LED无尘车间等诸多行业领域中,公司售后服务部建立了标准服务程序,设备实行终身跟踪服务,并于保修期内免费定期检测、维护、保养。

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